藍(lán)茵高精度晶圓噴墨打標(biāo)打點(diǎn)系統(tǒng)集成機(jī)器視覺與壓電噴墨技術(shù)，實(shí)現(xiàn)晶圓缺陷亞微米級自動(dòng)涂黑標(biāo)記。突破傳統(tǒng)手動(dòng)效率瓶頸，滿足ToF模組、Metalens等光學(xué)元件量產(chǎn)需求，為3D傳感、生物識別領(lǐng)域提供高可靠性標(biāo)識方案。

A[機(jī)器視覺定位]|亞微米識別精度| -->B (缺陷坐標(biāo)提取)--> C[壓電噴墨系統(tǒng)] |3pl級墨滴控制|--> D(微米級精準(zhǔn)打點(diǎn)) --> E[SECS/GEM協(xié)議集成] --> F(智能制造系統(tǒng)無縫對接)

超高精密打點(diǎn)系統(tǒng)三大技術(shù)模塊

一、工業(yè)視覺識別系統(tǒng)

毫秒級不良品定位（＞500fps幀率） 亞微米級坐標(biāo)定位誤差（±2μm）

三、智能控制平臺

支持SMEMA/E84通信協(xié)議 可定制配方管理（＞200組工藝參數(shù)）

此方案已應(yīng)用于12英寸晶圓量產(chǎn)線，為3D成像、生物識別等前沿領(lǐng)域提供標(biāo)識技術(shù)底座，加速半導(dǎo)體噴墨設(shè)備國產(chǎn)化進(jìn)程。